3.3调试
3.3.1检查：设备安装完毕后，按图纸要求进行仔细检查，检查供电线路、接线头、管道、机械泵及扩散泵的旋转方向等是否正确；检查真空泵的油量；检查各小零件是否安装到位等。确认无误后，方可进行冷态和热态调试。
3.3.2冷态空炉条件下极限真空度的调试与压升率的检测（参见真空系统工作原理图）
①关闭所有阀门，关闭炉门，并给真空系统通水；
！警告：真空泵连续工作时必须通水冷却，以保护真空泵。
②点动旋片泵，观察泵的旋转方向，确认正确后，启动该泵连续运行，然后打开予抽阀、前级阀，同时对扩散泵进行加热，当扩散泵起作用时，关闭予抽阀，打开翻板阀。
③当抽至极限真空（≤8.4×10-4Pa）后，进行压升率的测量，其方法如下：关闭翻板阀，然后停泵，15分钟后记录其真空度的变化率，观察时间不得少于30分钟。若压升率<0.67MPa/h,即合格，准备热调。
！注意：若真空室长期暴露在大气中后冷调，由于真空室内的零部件大量吸气，只有经过较长时间的抽空后才能测量准确。
3.3.3热调
①打开各水路截止阀，检查各水路冷却水是否畅通；
！警告：本炉必须在通水条件下才允许使用。
②检查电极与炉壳间的绝缘电阻不得小于0.5MΩ；
③启动真空系统，对炉子抽真空（使用方法见3.3.2-②）；
④当真空度达到工艺要求后，停泵、关阀，然后对加热体送电，用手动调节缓慢升温至500℃以上时再转为自动升至额定温度。
⑤断电，随炉冷却，当冷至150℃以下时，关阀、停泵、停水。
！警告：必须冷至150℃以下才允许停水。
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