真空烧结炉技术说明（4）-西安秦飞电炉原创-真空电炉-电炉非标设计

2.2主要部件简述

①隔热屏：由2层钼（Mo）屏、5层不锈钢（1Cr18Ni9Ti）屏及钼杆、连接件组成，通过底部联板坐落在炉壳内壁上，通过反射原理达到隔热和保温的功效。环状的加热带通过连杆固定在隔热屏内壁。

②炉壳：由不锈钢内壳炭钢外壳、进出水嘴、热电偶座、压力表座、固定支腿等几部分组成，为双层水冷结构，两端法兰面上有密封槽，通过密封圈、夹紧机构与炉盖相连，形成密封的真空室。

③炉门：分为左、右两个炉门，均为双层水冷结构，由不锈钢内封头、碳钢外封头、进出水嘴、圆形隔热屏等几部分组成，其中右炉门另设有观察窗结构，可以随时观看炉内热处理情况。

④真空系统：见以下结构示意图

图2

1旋片泵（2X-30）2压盖阀3波纹管4管道5预抽阀（手动蝶阀）6硅管座7前级阀（手动蝶阀）8手动翻板阀9凸腔扩散泵（TK-300）

⑤水冷系统：附着在底座上，由进水管、回水管、截止阀、压力表等组成，实现对炉体、炉门、电极、真空系统的冷却。

⑥电气控制柜：由柜壳、控温元件、真空计、按钮、连线等组成，完成对设备工作时的自动、手动控制。通过智能温控仪（系日本岛电公司生产）、晶闸管调压器实现炉温的连续PID调节，继而实现升温、保温的自动控制。通过一台记录仪（系上海大华生产），可以自动记录炉子的升温、保温、降温过程。通过一台真空计（系成都成华公司生产），随时显示炉内的真空度。其温控原理见图示。在柜前门上还装有若干控制按钮，通过对这些按钮的操作，实现设备运行时的全程控制，即加热体的通、断，真空系统的启动、停止等。另外柜内还装有超温、超压报警，保证设备的安全运行。